【MEMS簡介】

　　MEMS即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems），是利用微納加工技術將機械零件、電子電路、傳感器、執行機構高度集成的高附加值元件，經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。

　　MEMS技術構建的產品具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、性能穩定等特點，廣泛應用于汽車、消費電子、工業、醫療、國防、航空航天等領域。2022年，全球MEMS行業市場規模已達到184.77億美元，中國MEMS傳感器市場規模已達到9821億元，同比增長15.1%，預計到2025年中國市場規模將達到15713億元，2022-2025年復合增長率為17.0%。

　　【平臺建設】

　　服務中小微企業的公共技術平臺，是推動科技成果高效轉化的重要支撐。2020年，山東產業技術研究瞄準MEMS產業這一藍海市場，提出了包括引進MEMS技術、孵化MEMS企業、建設MEMS生態等一系列舉措。投資建設濟南市首條具備完整MEMS芯片生產加工能力的產線——微納制造公共技術服務平臺（下稱“微納平臺”），確定1+6發展規劃，圍繞“1”個平臺布局６大業務方向：壓力傳感器、環境傳感器、慣性傳感器、太赫茲傳感器、射頻傳感器與新型襯底材料傳感器，形成高效率代工研發服務、4&6英寸MEMS產品穩定批產、產學研聯合集智創新與產業資源整合推進成果轉化的全周期產業培育創新基地，為山東與全國MEMS產業提供關鍵制造能力支撐。

　　微納平臺作為山東產研院在山東省布局的最大公共技術服務平臺，由該院全資機構——山東產研微納與智能制造研究院有限公司負責運營，部署微系統技術研究所基于本平臺開展研發和項目合作，集聚了一批來自中國科學院、中國航天及半導體一線大廠公司的研發人員，具備充足的技術驗證和工藝生產能力，能夠高效地為客戶提供個性化產品開發和小批量驗證、代工服務。

　　【成果顯著】

　　2023年4月，微納平臺首款正式產品下線，標志其正式開展對外服務。截至2023年9月底，平臺已對接并開展代工項目驗證30余項，承接小批量流片項目5項，簽約訂單已近百萬，形成代工收入數十萬，成功為北京基因測序技術開拓企業、上海光通信技術企業、河南氣體傳感技術企業、山西3D視覺技術企業、陜西光通訊半導體技術企業、山東諧振壓力傳感技術企業、山東再生醫學技術企業等多家科創企業及全國多家科研院所和高校提供聯合技術開發、工藝驗證和小批量代工服務。成功交付光源器件類、生物微流控類、3D視覺類、壓力傳感類、氣體傳感類等多品類產品，得到客戶的廣泛認可。

　　經過半年的平穩運行，平臺科研能力穩步增強，工藝技術團隊已逐步建立起多套高水平制作工藝，形成了C-SOI工藝包、高品質硅鍵合工藝包、高精度雙面深刻蝕工藝包等特色產品和生物傳感器、環境傳感器、壓力傳感器等應用領域的完整技術儲備，形成多項知識產權。

　　平臺開展科研與代工服務的同時，不忘落實產學研聯合集智創新與產業資源整合工作，啟動濟南市重點實驗室、濟南市高新技術企業等資質認定工作，與上海計量院、山東省計量院等單位聯合申報國家重點研發計劃。全力整合產線、資本與人才資源，深入跟進十余項早期創新創業項目，傾力打造具有獨特生命力與吸引力的新型MEMS產業合作基地，為山東省招才引智、筑巢引鳳提供強大動力！

　　2023年３月和9月，山東產研院、微納與智能制造研究院與微納平臺受邀參展“CHInano 2023第十三屆中國國際納米技術產業博覽會”與“中國（上海）國際傳感器技術與應用展覽會（SENSOR CHINA）”，重點推介科研與代工服務能力，展示山東產研院強大的產業升級和生態建設能力，與行業內百余家科研機構和企業達成友好合作關系，微納平臺已逐步成長為國內MEMS中試平臺創新服務和技術發展新力量！

　　【濟南明星平臺】

　　目前國內MEMS加工制造平臺40余家，其中多為企業量產線，具有政府背景的MEMS公共服務平臺更加受到有孵化需求的科研團隊和早期初創企業的青睞，值得信賴的政府中試線和科研線更具備新興產業集聚效益。比如，蘇州納米城建有國內首個市場化、全開放6-8英寸MEMS中試平臺，形成年產5萬晶圓的批量生產能力，在當地政府的持續指導和支持下，帶動蘇州引進孵化企業近千家，實現年產值近3000億元。山東產研院微納制造公共技術服務平臺設計產能為年產2萬晶圓，是濟南市首個MEMS領域市場化、全開放中試平臺，一直受到濟南市、濟南高新區的大力支持。

　　微納制造平臺運營總監李景磊表示，“微納制造技術是未來世界制造技術發展的重要方向，我們將把平臺打造成國內知名、集產學研于一體的微納研發、加工及中試基地，構建具有山東特色的集聚先進材料、微納制造、系統封測、器件設計等產業鏈上下游聯動的自主產業體系。同時，打造MEMS傳感器產業鏈北方科技創新策源地、人才聚集地，積極融入國家和地方發展戰略，通過平臺的帶動作用，吸引更多企業、團隊、人才落地山東、落戶濟南�！�

　　【微納制造公共技術服務平臺介紹】

　　微納制造公共技術服務平臺位于山東省濟南市歷城區旅游路8661號，山東產業技術研究院高科技創新園10號樓B座，總面積5500余平方米，其中凈化車間近2000平方米，配備近百臺工藝生產設備，生產能力覆蓋MEMS芯片生產的全過程，從前道的光刻、刻蝕、金屬化，到后道的封裝、測試一應俱全，可以讓客戶實現“帶著設計進來，帶著產品出去”。